+ ETOS-1000X

   전원 /CPU/ 이더넷 이중화 통신구성

   시리얼 (RS232/422/485) 최대 64 채널 지원

   풍부한 사용자 메모리 (512Kbytes) 제공하여 대규모 시스템 통합감시에 용이

+ ETOS-300X

   개방형 네트워크, 시리얼 통신, 이더넷 통신 네트워크 통합 구축

   시리얼 / 이더넷 프레임 편집과 제어 기능

   반도체 장비 표준 프로토콜 SECS-I/HSMS 통신 지원

+ ETOS-150X

   반도체 장비 표준 프로토콜 SECS 통신 지원 산업용 네트워크 서버 이더넷 이중화 지원하는

   지능형 네트워크 서버

   2개의 이더넷 포트가 각각 독립적으로 동작하여 Factory 와 Office Network 를 분리

   SECS 통신 지원 유무에 관계없이 모든 반도체 장비를 상위 시스템과 통합